真空井式坩堝爐詳細參數(shù)及原理

更新時間：2020-07-01

本設(shè)備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。

真空井式坩堝爐參數(shù)說明

型號	AFD-1200T	AFD-1400T	AFD-1700T
工作溫度	＞1200℃	＞1400℃	＞1700℃
加熱元件	電阻絲	硅碳棒	硅鉬棒
熱電偶	K型	S型	B型
控溫方式	31段可編程自動控制，PID調(diào)節(jié)控溫度
升溫速率	0-10℃	0-20℃
控溫度	±1℃
大真空度	-0.1MPa
爐膛材料	氧化鋁陶瓷纖維板
爐殼	雙層爐殼，風(fēng)冷結(jié)構(gòu)（爐底安裝兩個散熱風(fēng)扇），爐殼表面溫度低于60度
額定功率	1KW—8KW
常用爐膛尺寸	Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm； Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm

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